不止于探针：加热、屏蔽、射频——小型探针台的百变形态

在半导体器件研发、材料电性测试及科研教学领域，测试精度与操作灵活性直接影响实验结果的可靠性与效率。华测仪器推出的Huace-S4 / Huace-S6 系列小型探针台，以精度高、多功能、紧凑结构为核心，为4英寸/6英寸样品测试提供了专业的手动探针测试平台。

一、产品概述

Huace-S4 / Huace-S6 系列小型探针台是一款手动探针测试平台，支持4英寸（S4）与6英寸（S6）样品台，配备X-Y移动系统、Z轴升降功能及真空吸附样品固定装置。用户可根据测试需求灵活选配多种显微镜与探针座，广泛应用于半导体器件、材料电性、光电及射频测试等领域。

二、核心优势

1. 精度高的移动系统，保障测试稳定性

X-Y移动行程达4英寸×4英寸，移动精度10μm（可选配2μm/0.7μm/0.5μm探针座）。

样品台可360°旋转，并支持±15°微调，精度0.1°，带角度锁死装置，便于多角度重复测试。

2. 灵活的探针配置，满足多样化信号需求

U型针座平台最多可放置6个探针座，支持磁力或真空吸附。

探针夹具兼容同轴线/三轴线，漏电精度可选10pA / 100fA / 10fA，适应从常规I-V测试到高灵敏度低漏电测试的不同要求。

3. 多功能显微镜系统，成像清晰操作便捷

配备单筒或体式显微镜，放大倍率16X~200X，支持水平360°旋转及Z轴50.8mm升降。

可选配200万~1200万像素CCD，搭配LED环形光源，成像清晰，适合探针定位。

4. 样品兼容性强，支持背电极测试

样品台电学独立悬空，配备4mm插孔，可直接进行背电极测试。

采用真空吸附固定方式，中心孔+多圈吸附环设计，适用于多种尺寸与材质的样品。

5. 丰富的可选附件，支持定制化扩展

可选加热台、屏蔽箱、光学平台、转接头、镀金卡盘、射频/光电测试配件等，满足特殊测试环境与拓展需求。

三、主要技术参数（简要）

四、典型应用领域

半导体器件测试：二极管、晶体管、MEMS、IC芯片等的I-V/C-V特性测试。

材料电性研究：导电材料、薄膜、纳米材料的电阻率、接触电阻测试。

光电测试：配合光电测试配件，实现光电器件的光响应测试。

射频测试：可选配射频测试配件，支持高频信号测试。

科研与教育：高校实验室、研究所用于微电子、物理、材料等领域的实验教学与科研。