华测仪器小型探针台：半导体测试的实在选择

在半导体器件与材料电性测试领域，有效、稳定、灵活的测试平台是科研与生产的关键。华测仪器推出的小型探针台系列（Huace-S4 / Huace-S6），凭借其优秀的性能与模块化设计，已成为高校实验室、研究所及半导体企业中备受信赖的测试工具。

严谨操控，毫厘之间见真章

Huace-S4与Huace-S6探针台分别支持4英寸与6英寸样品，配备X-Y移动系统，行程达4英寸×4英寸，移动精度可达10μm，并可选配的探针座（低至0.5μm），满足从基础教学到前沿科研的多样化需求。

样品台支持360°旋转与±15°微调，角度控制精度高达0.1°，并配有锁死装置，确保多角度测试时的稳定性与重复性。

灵活配置，适应多元测试场景

U型针座平台可容纳6个探针座，支持磁力或真空吸附，适配多种探针夹具与线缆类型（同轴线/三轴线），漏电精度可选10pA / 100fA / 10fA，满足不同灵敏度要求的电性测试。

无论是I-V/C-V特性测试、材料电阻率分析，还是光电响应与射频信号测试，Huace系列探针台都能轻松应对。

高清成像，精细操作无忧

配备单筒或体式显微镜，放大倍率范围16X至200X，支持水平360°旋转与Z轴50.8mm升降，结合200万至1200万像素CCD与LED环形光源，成像清晰，操作严谨，助力用户轻松完成微米级探针定位。

强大兼容，支持多类型样品

样品台电学独立悬空，支持背电极测试，配有4mm插孔。真空吸附系统采用中心孔+多圈吸附环设计，适用于多种尺寸与材质的样品，确保测试过程中样品稳固不移位。

可扩展设计，满足定制需求

华测小型探针台支持丰富的可选附件，包括：

加热台、镀金卡盘

屏蔽箱、光学平台

射频/光电测试配件

各类转接头、显示器等

可根据用户具体测试需求进行定制化扩展，真正实现“一机多用”。

技术参数一览

型号：Huace-S4 / Huace-S6

X-Y移动精度：10μm

样品台旋转：360° + 15°微调，精度0.1°

显微镜放大倍率：16X~200X

探针座行程：12mm×12mm×12mm

漏电精度：10pA / 100fA / 10fA

外形尺寸：400mm×400mm×500mm

重量：约25kg